2000년 11월 30일

'Nanoplane' 시리즈에 추가했으므로 알려드립니다

디바이스의 미세화나 처리량의 향상에 대응하기 위해 반도체 제조 장치에 탑재되는 위치 결정 장치는
빠르고 나노(10억분의 1)미터 레벨의 위치 결정 정밀도를 가능하게 한 초정밀 XY 스테이지 「MODEL SLHUS-370」을 상품화했습니다
요잉을 억제하는 액티브 요 컨트롤을 조합한 제어 기구를 탑재하고 있습니다
1축 스테이지에서 XYZθ 등의 다축 스테이지까지 다양한 라인업을 갖춘 정밀 위치 결정 장치 메이커로서 사용자 요구에 부응합니다

다음주 12월 6일부터 마쿠하리 멧세에서 개최되는 세미콘 2000에 출전합니다

※「Nanoplane」은 소셜 카지노 중장비의 등록상표입니다


1. 초정밀 XY 스테이지 「MODEL SLHUS-370」의 특징：
(1) 레이저 간섭계의 채용에 의해 정지 정밀도 ±10nm 이하를 달성
저비용 리니어 모터 채용
(3) 제어 기구에 외란 옵저버와 액테이브 요 컨트롤을
위치 결정 정밀도 및 스캐닝(추종) 정밀도 향상
(4) X축과 Y축이 동일 평면상에 있는 독자적인 H형 스테이지 구조의 채용
　　 저중심화로 운동 정밀도 향상
(5) 리니어 모터와 에어 베어링에 의한 완전 비접촉 구동에 의해
　　 깨끗하고 유지 보수가 필요하지 않음


2.
X축, Y축 공통
(1)스트로크: 370mm
(2) 스케일 분해능: 0.6nm(레이저 간섭계)
(3) 최고 속도: 300mm/초
(4) 정지 정밀도: ±10nm 이하
(5) 진직도(수평/수직) 12nm/20nm(제어 보정값)

3. 가격:
약 3000만엔(사양에 따라 다름)