이온 주입 장치
All-in-one형 이온 주입 장치
Saion
고전류 장치와 중전류 장치를 통합하는 광범위한 이온 주입 가능
'이온 주입 장치'에 대한 자세한 정보는 여기
특징
- 300mm뿐만 아니라 200mm 웨이퍼도 지원
- HC 장치와 MC 장치를 통합한 프레임워크
- 2keV / 최대: 630keV
- 높은 전류 값과 넓은 에너지 범위로
- 생산 기종 간 유연성 및 장비 유효 이용률 향상
- 새로운 이송 시스템 채택으로 생산성 향상
- 빔 각도 측정 속도 및 품질 향상
- 웨이퍼와 동일 평면상의 빔 각도 측정 가능
- RF 샤워 시스템 표준화
- 금속 오염의 최소화
- 대칭 스캔에 의한 양호한 균일성
- 정전기기 주체의 절전 성능
- MIND 시스템 장착
제품 라인업
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