크라이오 펌프
다운타임 단축(배기 성능 등)
'크라이오 펌프'에 대한 자세한 정보는 여기
특징
크라이오 펌프란?
진공 펌프 중 하나입니다.
저진공~중진공용 펌프와 고진공~초고진공용 펌프로 나눌 수 있습니다
크라이오 펌프에는 다음과 같은 특징이 있습니다
- 수증기에 대하여)가 빠르다
- 모양식이지만 최대 배기 유량(스루풋)이 크다
- 완전히 오일이 없는 진공을 얻을 수 있음
- 정기적으로 쌓인 가스 방출(재생 조작) 필요
- 오존 포함) 배기 불가
- H2100K (1st 패널
- 8-12K(2nd 패널)로 응축됨
- 8-12K(활성탄)에 흡착됨
우리는 SICERA®와 Marathon®의 두 가지 유형의 크라이오 펌프를 판매하고 있습니다
SICERA®
S:Sumitomo I:Inverter integrated C:Cryopump with E:Energy R:Reduction A:Advantage 를 약칭한 이름으로
- 1개별 제어가 가능한 멀티 펌프 시스템
최대 11대의 8인치 펌프를 하나의 압축기로 작동 가능
- 2고신뢰성
풍부한 크라이오 펌프용 냉동기 실적
- 3높은 에너지 절약 효과
1kW(8인치 펌프 8대 운전 시)
사용 상황에 따라 달라집니다
- 4Ar 가스 흡장량
당사의 기존 대비 2배: 8인치 타입으로 1
Marathon®
미국 거점의 Sumitomo(SHI) Cryogenics of America
- 1
독특한 패널 디자인
- 2
큰 수소 가스 배기 용량
- 3
긴 재생 사이클과 짧은 재생 시간
- 4
8-20인치 크기까지 다양한 대응 가능
글로벌 네트워크
판매, 서비스, 제조를 위한 글로벌 네트워크 구축
제품 라인업
SICERA®
다중 운전이 가능하며 인버터 제어로 에너지 절약 효과가 있습니다
Marathon®
다양한 크기를 지원합니다.
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