정밀 위치 결정 풀 카지노
나노 기술을 선도하는 XY 스테이지
FPD · 반도체 제조 풀 카지노의 정밀 위치 결정에 사용되는 XY 스테이지를 취급하고 있습니다
'정밀 위치 결정 풀 카지노'에 대한 자세한 정보는 여기
특징
SA/SL Series 소형 표면 스테이지
- 1저중심 H형 구조 채용으로 높은 속도 안정성
- 2탑재 부품을 옵션화하여 다양한 고객의 요구에 대응 가능
- 31G)시에 고정밀도 구동을 실현하는 반력 처리 기구
용도
- 반도체/프린트 기판
- 노광·고정도 검사 풀 카지노용 XY 스테이지
TL Series 스택형 선형 가이드 스테이지
- 1높은 처리량 단계를 저렴한 가격으로 제공
- 2리니어 모터 구동 스테이지로 높은 처리량 실현
- 3자신의 반력 처리 기구에 의한 고정밀 위치결정 실현
용도
- 반도체/프린트 기판
- 검사 및 가공 장비용 XY 스테이지
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