모션 컴포넌트
제조장치의 고정밀화·고응답화를 실현하는 제어 컴포넌트
반도체 제조 장치·액정 제조 장치·정밀 가공 기계 중심으로서 초정밀·고정밀도가 요구되는 모든 가공기의 제어 시스템으로서 채용되고 있습니다
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특징
고성능 모션 컨트롤러 MC78
서보 드라이버 SD 시리즈 및 위치 측정 신호 처리 유닛 PP78 등과 결합하여
고정밀도 서보 드라이버 SDLN/SDPH
나노미터 클래스의 고정밀 리니어 동작과 대출력 PWM 동작의 자동 전환을 가능하게 한 초고성능 서보 드라이버로
코어리스 리니어 모터 SM/SL/SSL
자기 회로 및 코일 배치 설계 최적화와 정밀한 조립으로 추력 리플을 최소화한 선형 모터
에어 액추에이터 Airsonoc 50N
독자적으로 개발한 제어 알고리즘과 에어 베어링 채택으로
발진이 없고 깨끗하고 발열도 없습니다
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