2002년 07월 01일

월드 카지노 중기계 공업 주식회사(사장 닛노 요시로)는 국내 대형 액정 메이커에의 양산 라인용 레이저 어닐링 장치를 3대 납입했습니다

아몰퍼스 실리콘 TFT 액정에 비해 선명하고 고속의 화상 표시가 가능한 저온 폴리실리콘 TFT 액정이나 CGS 액정이
레이저 어닐링 장치는 저온 폴리실리콘 TFT 액정이나 유기 EL용 TFT 기판 등의 제조 공정에 사용된다

1999년에는 최대 평균 출력 200W의 고출력 엑시머 레이저 발진기를 국산화화
레이저 발진기와 프로세스 챔버(처리실)를 각각 2대 탑재한 모델에서
가공 스테이션과 같은 모든 중요한 구성 요소를 국산화하는 유일한 국내 제조업체로서 고객의 신뢰를 얻고 있습니다

【장치 사양】
장치 형식 : ELA7600TW
대응 기판 사이즈 : 620mm×750mm
주요 시스템 구성 : 레이저 발진기(240W×2대)

[특징]]
독립된 2개의 공정 챔버로 유리 기판을 교대로 반출입함으로써