2004년 10월 05일

정밀 위치 결정 장치(XY 스테이지) 공장의 제3기 확장을 진행해 왔지만

다나무 제조소(도쿄도 니시도쿄시)를 거점으로 하여 반도체나 액정의 제조·검사 장치에 짜넣는 정밀 XY 스테이지의 제조를 개시했습니다

반송용으로 적재 중량 30톤을 초과하는 에어 부상식 반송 대차를 구비하는 등


(클린룸 증설 개요)
　　착공 2004년 6월 7일
　　준공 2004년 10월 5일
320㎡(총 면적 10
　　제조품목
　　　　액정 패널 제조·검사 장치용 대형 XY 스테이지 등의 정밀 위치 결정 장치