2008년 09월 30일

이번에 고정밀도 위치 결정 장치(XY 스테이지※)의 누계 출하 대수 1

1999년 FPD(플랫 패널 디스플레이) 시장
미세화 가공의 증가에 따라 반도체 제조 장치용 XY 스테이지도 고정밀도화가 진행


■제품 정보
볼 나사를 사용한 범용 스테이지에서 리니어 모터 구동의 초정밀 스테이지까지
주요 제품으로
· FPD 제조 장치 용 갠트리 이동형 선형 가이드 스테이지 GL 시리즈
・반도체 제조 장치용 소형 표면 스테이지 SA&SL 시리즈(Nanoplane®)
등이 있습니다.

사용자의 기대에 세밀하게 대응할 수 있는 메이커로서 노력하겠습니다

※XY 스테이지
웨이퍼 등의 가공 대상물을 X축(좌우) 방향과 Y축(세로) 방향으로 이동