2024년 10월 25일

공익 사단 법인 일본 표면 진공 학회에서 「ISO 21360-6 크빅 카지노오 펌프의 성능 시험 방법의 발행」에 대해

일본 측의 전문가로서 본 규격의 제정에 공헌한 것으로 평가되어 3사 합동으로 일본 표면 진공 학회보다 산업상을 수상했습니다

배기부에 기계적 가동부가 없고 윤활유도 사용하지 않으므로 매우 깨끗한 고진공을 얻을 수 있습니다

ISO 규격(※1)에 있어서의 진공 펌프의 시험 방법(※2)에서는 크빅 카지노오 펌프 독특한 성능 항목에 관한 측정을 커버할 수 없다

주요 용도인 반도체 제조 장치 및 반도체 제조 공정 설계에 있어서의 크빅 카지노오 펌프 선정에 관한 편리성이 크게 향상

※1 ISO(International Organization for Standardization: 국제 표준화 기구) 규격
「ISO 21360-1 Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 1: General description」(공통 시험 방법)

■일본 표면 진공 학회 홈페이지

■당사 크빅 카지노오 펌프 정보